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在某些中真空应用中，需要进入10-1Pa范围，这对罗茨泵的二级机组往往难于实现，而使用二级罗茨泵串接的三级机组可使真空度提高一个数量级而进入10-1Pa，所以中真空应用也常用三级机组。由于分子增压泵在10-1Pa可以满抽速，所以亦可以在三级中真空机组中取代两级罗茨泵。一般地讲，长时间工作在中真空的低端压力范围的罗茨泵，分子增压泵可以完全取代。而长时间工作在中真空*端压力范围的罗茨泵相对而言应该较少，因为这一压力范围前级泵往往还具有强劲的抽速。高真空分子泵维修

一、真空泵正常运转使用时，每三天对以下内容进行一次点检：

A、泵油是否在游标范围以内

B、泵油是否有变黄变黑、混浊现象

C、声音是否出现异响

D、真空泵运行时是否出现漏油

当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。高真空分子泵维修

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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旋片泵的旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大(即膨胀)，气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。

当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，*后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级(低真空级)，由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提高了极限真空度。真空泵维修维护

真空机组工作原理：

真空机组是以泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率等优点。真空泵维修维护

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高真空机组往往需要三级机组的另一个原因归结于高真空泵的吸入压力的限制。泵都有起始工作压强，传统的高真空泵都在几Pa的范围。adixen ATH400M分子泵维修，因此前级泵必须预抽到这一压力主泵才能开始工作。但直排大气的前级泵抽至这一压力往往需要较长的时间，因为随着压力降低泵的抽速在减小，特别是对于周期性抽气的真空机组，对达到工作真空度的时间是有要求的，预抽时间越长，进入工作真空度的时间也越长，故增加一台中真空泵与前级低真空泵配合，可在较短的时间达到主泵可以工作的压力，这样可以使系统尽快地进入工作压力，保证了设备的使用效率。adixen ATH400M分子泵维修

由于负荷大，转子和壳体温差不断zeng高，使间隙不断增大，这会使首逆流增大，引起罗茨真空泵抽速下降。为了克服这个缺点，罗茨泵在高负荷下工作时，需要采用有效措施，一般是将罗茨真空泵的外壳和转子同时采用油循环系统进行冷却。adixen ATH400M分子泵维修

随着螺旋升角和牵引槽深度增大，氦质谱检漏仪的灵敏度均先提高后下降;增大转子与定子间隙，不利于氦质谱检漏仪灵敏度的提高;选取螺旋升角为22°、牵引槽深为 2.5 mm、转子与定子间隙为 0.3 mm时，氦质谱检漏仪具有较高的灵敏度，同时复合分子泵牵引级性neng可靠且结构安全。adixen ATH400M分子泵维修

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